L’ellipsométrie est une technique optique reposant sur la mesure du changement de l’état de polarisation d’un faisceau lumineux après réflexion sur une surface. Cette modification dépend de la surface à étudier. Ainsi, pour une longueur d’onde et un angle d’incidence donnés, il est possible de déterminer les angles ellipsométriques d’un matériau et d’en déduire ses caractéristiques (indices n et k, épaisseur). L’ellipsométrie à extinction, objet de l’étude, est basée sur la recherche du minimum de lumière réfléchie par ajustement des angles d’un polariseur et d’un analyseur .L’objectif du TP proposé est d’assembler et de régler un ellipsomètre didactique dans le but de déterminer les indices et l’épaisseur différents échantillons (substrat de silicium, monocouche de Si substrat de silicium, aluminium, verre).Une étude sur les conséquences de la variation de longueur d’onde et de l’angle d’incidence est menée. Une approche relative aux erreurs de mesure et leurs origines est également abordée.
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